半 自 动 抛 光 机

针对抛光加工制程设备，以液静压技术为主要核心，关键部件「旋转工作台」皆采用高精度、高刚度、制震、耐磨耗的液静压轴承，旋转精度高，极大程度保证工件在加工过程中，具高精度磨削、高效磨削及高稳定性，进而提升减薄良率。并解决轴承主轴研磨时的磨耗，及克服气压主轴研磨时的cushion effect(气垫效应)，可更有效率应用于研磨坚硬质料。
产业应用如：SiC、GaAs、Sapphire、Silicon、EMC等。