全自动芯片光学显微镜检测机

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全自动芯片光学显微镜检测机

针对半导体晶圆检测需求，研发制造出全自动检测设备。配备有CCD、正背面检查，客制化需求设计，设备操作简易、自动化程度高，可大幅增加产出同时降低人事成本。

设备特点

12” FOUP Cassette 

 C.C.D. type auto Pre-alignment (notch/pattern) 

 晶圆正背面人工目检,可做万向及转速微调.

 整合自动量测之显微镜,可搭载OM , TM , IR , X-RAY…. 等等

工件尺寸

8”/12” 

可以客户需求客制


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