半 自 动 芯 片 检 查 机

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半 自 动 芯 片 检 查 机

针对半导体晶圆检测需求，研发制造出半自动检测设备。配备有CCD、正背面检查，客制化需求设计，设备操作简易、自动化程度高，可大幅增加产出同时降低人事成本。

设备特点

Open cassette type

Cassette Mapping功能 -  检知有无片、迭片、斜片、凸片、卡匣定位侦测

Pre-alignment -  Notch找寻、OCR确认

Macro inspection -  正面检查、背面检查、可选择白光或黄光

Micro inspection -  电动载台可设定检查点位、可纪录异常点位。

支援Mapping File (选配)

工件尺寸

8”/12” 

可以客户需求客制



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